主要产品
MLI 准分子激光
MLI系列设备为工业应用提供直接波长的准分子激光器。当然,如果需要,基本单元可以根据个人需求进行调整。
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MLI-200 / 500 / 1000 准分子激光
MLase 的现代紧凑型准分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,脉冲能量高达 16 mJ,重复频率高达 1,000 Hz
市场上具有最高使用寿命和可靠性以及最低拥有成本的独立设备。由于光束轮廓均匀,能量稳定,适用于要求苛刻的应用。
带有附加LC的准分子激光器还可以进行主动水冷(通过生活用水或外部热交换器;无去离子水),以实现稳定的连续运行。
波长(纳米)
193 193 193 248 248 248
重复频率(赫兹)
200 500 1000 200 500 1000
稳定的
脉冲能量 (mJ)
6 6 6 10 10 10
稳定平均功率 (W)
1,2 3,0 6,0 2,0 5,0 10
脉冲稳定性(西格玛 %)
2 2 2 2 2 2
光束尺寸(FWHM,VxHmm)
6×3 6×3 6×3 6×3 6×3 6×3
光束发散(FWHM,VxHmm) 2×1 2×1 2×1 2×1 2×1 2×1
脉冲长度
5-10 5-10 5-10 5-15 5-15 5-15