瑞士Interapp高纯度蝶阀执行器
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对高纯度应用的高要求
减少所有类型的污染是生产对污染敏感的产品(如半导体或制药行业)的最重要目标。为了保证无故障生产过程并排除关键残留物,制造过程中使用的所有产品都必须表现出高度纯度。
为了分析我们的Bianca蝴蝶阀,Exyte技术有限公司的跟踪分析部门,清洁室技术和控制环境专家,根据SEMB F40和F57委托进行粒子和 TOC测试。
粒子测试
使用超现代粒子测量装置Ultra DI 50在粒子残留物上测试了高纯度执行中的Bianca蝴蝶阀,这是跟踪分析的理想之选。
根据 SEMI F40 和 F57,允许最大限值为 0.10 颗粒/毫升。比安卡蝴蝶阀的测试值为0.01颗粒/毫升,远远低于允许值。
托克测试
在 TOC 测试(有机碳测试总量)范围内,分析了超纯水中所有有机碳的总和。
根据 SEMI F40 和 F57 标准,该测试定义了 1 < ppb 的限制值。比安卡蝴蝶阀门也跌破这个值,测试值为0.7ppb。
高纯度蝴蝶阀比安卡 - 高纯度应用的绝对安全性
Exyte技术有限公司进行的粒子测试和 TOC 测试都证实,高纯度执行中的 Bianca 蝴蝶阀具有高度纯度,非常适合用于生产对污染敏感的产品。
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