品牌pi | 有效期至长期有效 | 最后更新2020-11-18 13:43 |
X,Y的行程范围100 µm×100 µm | Z的行程范围10 µm | 电容式传感器的分辨率0.1 nm |
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Physik Instrumente (PI) XYZ压电弯曲扫描仪
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Physik Instrumente (PI) XYZ压电弯曲扫描仪
Physik Instrumente (PI) 无间隙的回程导轨,实现高导向精度。
平行位置测量,在纳米范围内具有较高的跟踪精度。
PICMA®压电执行器是完全陶瓷绝缘的。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍。没有被证实一次失败的1000亿次循环。
平行位置测量,在纳米范围内具有较高的跟踪精度。
所有的自由度都与一个固定的参照物有关。与其他轴的不必要运动串扰(主动引导)可以实时主动补偿(取决于带宽)。在动态工作中,还可以实现纳米范围内的高跟踪精度。
示范。
带压电偏转的XYZ定位器和扫描仪
带XYZ孔径的高精度扫描仪
用于纳米定位和光纤对准的紧凑型压电平行运动系统。
用于纳米定位和光纤对准的紧凑型多轴压电系统
最多3轴的高精度纳米定位器
可直接测量位置的高动态纳米定位仪/扫描仪
Physik Instrumente (PI) P-545.xR8SPInano®XY(Z)压电系统。
用于高分辨率显微镜的低成本纳米定位系统。
用于超高分辨率显微镜的电容式位置测量法
用于高动态显微镜的快速XY(Z)平台。
小型精密XYZ纳米扫描仪
用于扫描探针显微镜的高动态纳米定位系统。
比色计精度 扫描探针显微镜的高带宽
德国Physik Instrumente (PI) XYZ压电弯曲扫描仪