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Physik Instrumente (PI) XYZ压电弯曲扫描仪

    

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品牌pi 有效期至长期有效 最后更新2020-11-18 13:43
X,Y的行程范围100 µm×100 µm Z的行程范围10 µm 电容式传感器的分辨率0.1 nm
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Physik Instrumente (PI) XYZ压电弯曲扫描仪

郜赛楠
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郜赛楠邮箱:sales18@handelsen.cn电话:010-64714988-174
 

Physik Instrumente (PI) XYZ压电弯曲扫描仪
Physik Instrumente (PI) 无间隙的回程导轨,实现高导向精度。
平行位置测量,在纳米范围内具有较高的跟踪精度。
PICMA®压电执行器是完全陶瓷绝缘的。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍。没有被证实一次失败的1000亿次循环。

所有的自由度都与一个固定的参照物有关。与其他轴的不必要运动串扰(主动引导)可以实时主动补偿(取决于带宽)。在动态工作中,还可以实现纳米范围内的高跟踪精度。

示范。

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德国Physik Instrumente (PI)  XYZ压电弯曲扫描仪

 


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