Micro-Epsilon位移传感器技术参数详解

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　　Micro-Epsilon位移传感器capaNCDT 6500

　　纳米多通道系统

　　电容式位移传感器专为要求极高精度的测量任务而设计。capaNCDT 6500电容式多通道系统非常适合低至亚纳米分辨率的可靠测量。该控制器的最大响应速率为7.8kHz(数字，最多四个通道)，频率响应为8.5kHz。除模拟输出外，还提供EtherCAT(R)接口。EtherCAT具有高速集成到现有测量环境和两个系统同步的特性，从而可以实时准确地传输数据。使用网络浏览器可轻松进行capaNCDT 6500系统的设置和配置。

　　特点

　　测量范围(毫米)：

　　0.05 | 0.2 | 0.5 | 0.8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10

　　最大分辨率 0.0375纳米

　　最大线性 0.01微米

　　频率限制8.5kHz(-3dB)

　　数据速率(数字输出)7.8kHz

　　模拟输出(电压/电流)

　　以太网，EtherCAT

　　模块化–多达8个通道

　　外部或内部前置放大器

　　通过Web界面进行用户友好的设置和配置

　　最高分辨率

　　capaNCDT 6500系统设计用于需要亚纳米分辨率的测量任务。在半导体行业和实验室应用中的定位任务中，其优势尤其得到了证明。模块化capaNCDT 6500专为多通道应用而设计。最多可通过前置放大器将八个传感器连接到信号调节电子设备。

　　通过网络界面易于使用

　　由于用户友好的Web界面，无需使用任何其他软件即可执行控制器和传感器的整个配置过程。可通过以太网访问Web界面，并为过滤器，算术链接和其他有用的参数(例如触发，测量值存储和线性化)提供设置和配置选项。

　　Micro-Epsilon型号示例：

　　Micro-Epsilon ODC 1200

　　Micro-Epsilon ODC 1200汉90

　　Micro-Epsilon ODC1200-2

　　Micro-Epsilon ODC1200-5

　　Micro-Epsilon ODC1200达10

　　Micro-Epsilon ODC1200森16

　　Micro-Epsilon ODC1201汉20

　　Micro-Epsilon ODC1201达30

　　Micro-Epsilon WPS-3000-MK120-CR-P

　　Micro-Epsilon WPS-750-MK30-P25

　　Micro-Epsilon DT3001-U4-M-C3

　　Micro-Epsilon ILD2300森20

　　Micro-Epsilon PC2300汉3/SUB-D

　　Micro-Epsilon PC2300达0,5Y

　　Micro-Epsilon WPS-750-MK30-P10

　　Micro-Epsilon CAB-M12-4P-

　　Micro-Epsilon WDS-300-P60-CR-P

　　Micro-Epsilon PC140-6

　　Micro-Epsilon WDS-2500-Z100-CA-P

　　Micro-Epsilon WDS-1500-P60-CR-P

　　MICRO-EPSILON 1LR1181汉30(13)传感器

　　MICRO-EPSILON optoNCDT达2300

　　MICRO-EPSILON 0501森55-17

　　MICRO-EPSILON DT IFC2451传感器

　　MICRO-EPSILON IFS2403汉0,4传感器

　　MICRO-EPSILON ODC1201汉30

　　MICRO-EPSILON DTA-25D达3-CA-W

　　MICRO-EPSILON PC1700森10

　　MICRO-EPSILON ILD1700汉40全部

　　MICRO-EPSILON ILD1700达200 PC1700森10 10M

　　MICRO-EPSILON ILD1402汉200 PC1402达8/I 8M 4森20mA

　　MICRO-EPSILON IF2008-Y

　　MICRO-EPSILON IF2004/USB

　　MICRO-EPSILON PC2300-3/IF2008

　　MICRO-EPSILON PC1402-3/IF2008

　　MICRO-EPSILON ILD1402汉200

　　MICRO-EPSILON ILD2300达200(02)

　　MICRO-EPSILON EC3/2传感器附件

　　MICRO-EPSILON EA3200-ES04/180森(102)传感器附件

　　MICRO-EPSILON ESC30传感器附件

　　MICRO-EPSILON SCA3/5传感器附件

　　MICRO-EPSILON SCD3/8传感器附件

　　MICRO-EPSILON ES04/180汉(102)探头

　　MICRO-EPSILON DT3301控制器

　　MICRO-EPSILON DS05(03)+DZ14全部

　　MICRO-EPSILON DS05(03)+DZ140控制器

　　MICRO-EPSILON 4120汉151达025森传感器

　　MICRO-EPSILON ILD2300汉10LL位移传感器

　　MICRO-EPSILON CLS-K-65/S-HAUNT 1004汉2787

　　MICRO-EPSILON FAD-T-S-3, 5X1 5汉295达-67