品牌Physik Instrumente | 有效期至长期有效 | 最后更新2020-08-25 13:14 |
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德国Physik Instrumente(PI)线性执行器
刘亚冰 QQ:2853369890 手机:18514427448 电话:010-64714988-173 传真:010-84786709-667 邮件:sales63@handelsen.cn |
&&适用于真空的L-220 V6高分辨率线性执行器
适用于高循环数
适用于真空的L-220 V6高分辨率线性执行器
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适用于高达10-6 hPa的真空
力至125 N
26毫米(1英寸)行程范围
步进电机
参考级直线驱动器
结合了高精度,高作用力和高动态性。具有齿轮比的高性能,低振动的2相步进电机即使在没有位置控制的情况下也可以进行精确定位。
减少放气,特别是在真空环境下使用
最显着的是,为了润滑导向装置和驱动螺杆,使用了排气量极低的材料。因此,烘烤温度可达到80°C。通过对PI V6真空等级的这种和其他修改,该定位器的使用时间可达10 -6 hPa。
优质组件
滚珠丝杠,送纸顺畅。非旋转尖端可确保均匀运动,从而防止在接触点出现摆动,扭矩和磨损。含税 平面和球形尖端可消除耦合力。非接触式限位开关可保护机械性能。方向感应参考开关支持自动化应用。
应用领域
真空室。研究。Beamline仪表。显微镜检查。电子组装和检查。
&&A-68x PIglide RLA旋转平台,带空气轴承,大孔径
无摩擦,电动
A-68x PIglide RLA旋转平台,带空气轴承,大孔径
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直径365毫米的运动平台,直径260毫米的光圈
低调
偏心和平整度<300 nm
产品总览
PIglide RLA系列的直接驱动平面旋转平台设计为具有的精度。它们外形小巧,通光孔径大。RLA位移台具有出色的行程精度,平坦度和摆动性能。
绝对编码器(可选)
绝对值编码器提供明确的位置信息,可立即确定位置。这意味着在接通过程中不需要引用,从而提高了操作期间的效率和安全性。
应用领域
断层扫描,束线系统,晶圆计量,晶圆检查,测量技术,检查系统,校准,扫描。
由于无摩擦运动,不会形成任何颗粒,这使PIglide平台成为洁净室应用的理想选择。
三相转矩电机
无刷
低齿槽转矩
配件和选件
增量或绝对编码器
PIglide过滤器和空气制备套件
单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器
多轴/自定义设置
花岗岩制底板和减振系统