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| 品牌FUG | 有效期至长期有效 | 最后更新2020-09-30 16:02 |
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FUG高压电源HCL14- 6500
纳米范围内的最小结构形成在半导体或其他基板上。要求与电子显微镜相似，但对于光刻，电子束电流的调节必须覆盖较大的功率范围。20 kV-70 kV，低电流（mA），辅助电源，非常高的稳定性，低纹波。
功率半导体：
通常必须对组件进行介电强度，电流路由和开关行为测试。范围800V-20,000V，最高10kW，高/高电流脉冲最高3000A。大电流脉冲发生器，最大输出电流为3000A。
冷凝器测试仪/成型系统：
必须测试电容器的介电强度，并在制造过程中或以后使用时形成电容器。范围800V-20,000V，最高10kW。
半导体生产需要高度精确的集成电源。它由FuG电源保证。在这里，以及基本或专业系列中都使用了定制的解决方案-例如在离子注入，光刻和显微镜检查中。电容器必须进行介电强度测试，并在制造过程中以及使用期间的一定间隔内进行成型
FUG高压电源型号HCL系列：
FUG高压电源HCL350- 20000，
FUG高压电源HCL14- 3500，
FUG高压电源HCL35- 3500，
FUG高压电源HCL140- 3500，
FUG高压电源HCL350- 3500，
FUG高压电源HCL14- 6500，
FUG高压电源HCL14- 20000，
FUG高压电源HCL35- 6500，
FUG高压电源HCL140- 20000，
FUG高压电源HCL140- 6500，
FUG高压电源HCL350- 6500，
FUG高压电源HCL14- 12500，
FUG高压电源HCL35- 12500，
FUG高压电源HCL350140- 12500，
FUG高压电源HCL35- 20000，
FUG高压电源HCL35- 35000，
FUG高压电源HCL140- 35000，
FUG高压电源HCL350- 35000
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