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| 品牌Physik Instrumente | 有效期至长期有效 | 最后更新2021-03-09 17:06 |
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德国Physik Instrumente(PI)P-733.3 XYZ压电纳米定位器
P-733.3 XYZ压电纳米定位器
高精度XYZ光圈扫描仪
X，Y的行程范围为100 µm×100 µm，Z的行程范围为10 µm
电容式传感器的分辨率可达0.1 nm
直接驱动的高速版本
可根据要求提供超高真空兼容和非磁性版本
并联运动学可实现更高的精度和动力学
并行计量，可主动补偿导向误差
零间隙，高精度挠曲导向系统
透明孔径50 mm×50 mm，用于透射光应用
应用领域：
扫描显微镜
共聚焦显微镜
掩膜/晶圆定位
表面测量技术
纳米压印
显微操作
Physik Instrumente纳米定位压电弯曲平台
PI的压电挠性位移台将亚纳米分辨率和导向精度与最小的串扰相结合。这使其特别适合于计量学，超分辨率显微镜，干涉测量或半导体芯片生产检查系统中的应用。压电挠性位移台可用于毫秒级的精确定位和动态扫描，在高达6个自由度的情况下可达几百赫兹。
专有传感器设计，无摩擦挠性导板和长寿命PICMA®压电执行器的独特结合，使机械性能出色且坚固耐用。压电运动控制器支持定位和扫描性能优化，并且可以轻松地通过数字或模拟接口进行集成，并进行舒适的编程。
Physik Instrumente产品型号；
Physik Instrumente L-505.021212F
Physik Instrumente L-505.AP1
Physik Instrumente G-901.R3197
Physik Instrumente P-734.2CL
Physik Instrumente E-501,00
Physik Instrumente E-503,00
Physik Instrumente E-509,C3A,
Physik Instrumente P-561.3CD
Physik Instrumente L-611.90AD
Physik Instrumente P-563.3CD
Physik Instrumente E-727.3CD
Physik Instrumente P-561.3CD
Physik Instrumente E-727.3CDAP
Physik Instrumente C-887.522
Physik Instrumente Hexapod H-811.F2:
Physik Instrumente U-780.DLS
Physik Instrumente N-565.160
Physik Instrumente N-565.260
德国Physik Instrumente(PI)P-733.3 XYZ压电纳米定位器
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