PI多轴压轴系统P-611.3系列参数设备产品型号北京德诺伊流体科技有限公司

品牌PI	有效期至长期有效	最后更新2021-04-26 16:04
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PI多轴压轴系统P-611.3系列参数

PI多轴压轴系统P-611.3系列参数

P-611.3 纳米立方体® XYZ 皮佐系统

用于纳米定位和纤维对齐的紧凑型多轴压轴系统

P-611.3定位器产品说明

· 旅行范围至 120 μm × 120 μm × 120 μm

· 超编译：44 毫米× 44 毫米× 44 毫米

· 分辨率至 0.2 nm

· 快速响应行为

· 零播放、高精度柔性制导系统
PI多轴压轴系统吴亚男

· 由于PICMA®压电执行器的杰出寿命

· 用于快速扫描

· 带集成光纤支架的版本

· 特别便宜的系统

PI多轴压轴系统

	P-611.3S	P-611.3O	单位	浮动值
	P-611.3SF	P-611.3OF	单位	浮动值
活动轴	X、Y、Z	X、Y、Z
运动和定位
集成传感器	SGS
旅行范围在 -20 至 120 V，开环	120/轴	120/轴	μm	+20 % / -0 %
旅行范围，闭环	100/轴	–	μm
分辨率，打开循环	0.2	0.2	纳米	类型。
分辨率，闭环	1	–	纳米	类型。
线性错误	0.1	–	%	类型。
重复性	•lt：10	–	纳米	类型。
投在 X， Y	±5	±5	乌拉德	类型。
倾斜θX（以 Z 表示）	±10	±10	乌拉德	类型。
在X中打哈欠	±20	±20	乌拉德	类型。
Y中的偏航	±10	±10	乌拉德	类型。
倾斜θY（以 Z 表示）	±10	±10	乌拉德	类型。
机械特性
刚度	0.3	0.3	N/μm	±20%
共振频率X/Y/Z，无负载	350 / 220 / 250	350 / 220 / 250	赫兹	±20%
X/Y/Z负载下的共振频率，30克	270 / 185 / 230	270 / 185 / 230	赫兹	±20%
X/Y/Z负载下的共振频率，100克	180 / 135 / 200	180 / 135 / 200	赫兹	±20%
运动方向的推拉力能力	10月15日	10月15日	N	max
负载容量	15	15	N	max
驱动器属性
陶瓷类型	事先知情同意®P-885	事先知情同意®P-885
电容	1.5	1.5	μF	±20%
杂项
工作温度范围	-20 至 80	-20 至 80	°C
材料	铝、钢	铝、钢
尺寸	P-611.3S：	P-611.3O：

	44 毫米× 44 毫米× 43.2 毫米	44 毫米× 44 毫米× 43.2 毫米

	P-611.3SF：	P-611.3OF：

	48 毫米× 50 毫米× 44.2 毫米	44 毫米× 50 毫米× 44.2 毫米
质量	0.32	0.32	公斤	±5%
电缆长度	1.5	1.5	m	±10毫米
电压连接	D-子 25 （m）	D-子 25 （m）
传感器连接	D-子 25 （m）	–
推荐电子产品	E-503、E-505、E-663、E-664、E-727	E-503、E-505、E-663、E-664、E-727