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| 品牌acxys | 有效期至长期有效 | 最后更新2021-07-05 16:20 |
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法国acxys涂层 UL系列
法国acxys涂层 UL系列
acxys UL涂层
acxys ULCoat 使用在放电后阶段将前体注入等离子体中以在目标表面上沉积薄层。
ULCoat 的特点是一个喷雾系统，需要在等离子喷嘴下注射前体。ULCoat 设备必须连接到 ULS OMEGA。
标准单元设计用于沉积具有金属有机前体的 SiOx。但是，可以根据要求开发其他配方。
在 AcXys Technologies，我们可以满足您的特定要求：与我们的实验室合作开发您的定制解决方案——这就是研发合同的目的。
ULCoat 可作为独立设备或OEM 使用。
ULCoat 技术
– 耦合到 ULS OMEGA 模块
– 用于薄层沉积
– 厚度从 50 到 1000 纳米可调
– 厚度均匀，偏差 +/- 2%
– 处理速度高达 200 nm.cm2 / s
– 标准版本最适合 SiOx 沉积物
喷嘴
在注入等离子体之前监测前体流动。该模块集成了以下元素：
– 前驱罐
– 前体流量控制
– 气体流量控制
– 加热组件（可选）
直观的数字界面触摸屏
– 嵌入式触摸屏（如果是 OEM，则为远程）
– 直观的控制
– 多语言界面
– 错误检测和故障排除
– 实时显示指令
兼容气体
- 空气
- 氮
– 其他气体混合物
ULCoat 的优势
- 低温
– 厚度均匀，变化 2%
– 其他存款可能会被整合
– OpenFlow 版本可用于开发新的存款流程
法国acxys涂层 UL系列
| 郭秀 QQ：2853369891 手机：18518179676 电话：010-64714988-176 传真：010-84786709-667 邮件：sales7@handelsen.cn |
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