德国PI (Physik Instrumente)Q-Motion®转台Q-632

Q-Motion®转台

通过压电电机实现其紧凑外形：转台直径为30毫米

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Q-632 Q-Motion®转台

§ 宽仅32毫米、高仅8毫米

§ 采用增量编码器实现直接位置测量，编 码器分辨率为0.75微弧度（可选）

§ 最小位移高达3微弧度

§ 旋转范围>360度

§ 速度为45度/秒

§ 适用于高达10- 6百帕的真空环境，还可提供用于真空 达10-9百帕的版本

压电惯性驱动器

压电陶瓷惯性驱动器为空间节约型且价格实惠的基于压电陶瓷的驱动器，其保持力相对较大，行程几乎是无限的。惯 性驱动原理是基于由特殊驱动器电控提供的修正锯齿波电压控制的单个压电促动器。促动器缓慢膨胀，移动转子。由 于其惯性，转子无法跟上促动器随后的快速收缩，停留在其位置上。工作频率高达20千赫兹时，驱动直接作用在转子 上，实现最大为45度/秒的速度

应用领域

微装配、光子学、光学对准、显微镜、高能束线设备、半导体技术、测试应用

订购信息

Q-632.930

Q-Motion®

转台，压电惯性驱动，旋转范围>360度，增量编码器，分辨率为0.75微弧度，力矩为6毫牛米，直径为30毫米，真空 兼容至10-6 百帕

Q-632.900

Q-Motion®

转台，压电惯性驱动，旋转范围>360度，不带用于开环操作的位置传感器，力矩为6毫牛米，直径为30毫米，真空兼 容至10-6 百帕

Q-632.90U

Q-Motion®

转台，压电惯性驱动，旋转范围>360度，不带用于开环操作的位置传感器，力矩为6毫牛米，直径为30毫米，真空兼 容至10-9 百帕

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