德国PI (Physik Instrumente)P-313 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

杨文辉 QQ：2850590598   手机：18301216381 电话：010-64717020-118 传真：010-84786709-666 邮件：sales11@handelsen.cn

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

P-313 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪

皮米级精度，高带宽，用于扫描探针显微镜

§ 用于AFM / SPM的高线性扫描仪

§ 分辨率高达20皮米，滞后小于1 纳米

§ 闭环驱动概念带来最高带宽

§ 用于生物技术/纳米技术的最高精度操 纵工具

§ 谐振频率为4.0千赫兹（X、Y）、11 千 赫兹 （Z）

§ 行程1微米×1微米×0.6微米

应用领域

·         扫描探针显微镜

·         原子力显微镜

·         扫描和筛选

并联运动实现高动态多轴操作

在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有最小的质量惯性和相同的设计，可实现快速、动态和精密的运动。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

订购信息

P-313.30L

高线性 PicoCube XYZ向纳米定位器和扫描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，开环，LEMO连接器

P-313.30D

高线性 PicoCube XYZ向纳米定位器和扫描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，开环，Sub-D连接器

P-363 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪

用于扫描探针显微镜的高动态纳米定位系统

§ 用于AFM / SPM的超高性能闭环扫描仪

§ 用于生物/纳米技术的紧凑型操纵工具

§ 谐振频率9.8千赫兹

§ 电容式传感器可实现最高精度

§ 并联测量技术可实现导向误差的自动化 补偿

§ 分辨率50皮米

§ 行程5微米×5微米×5微米

§ 真空兼容版本

应用领域

·         扫描探针显微镜

·         原子力显微镜

·         扫描和筛选

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

订购信息

P-363.2CD

PicoCube高精度XY向纳米定位系统，5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，Sub-D连接器

P-363.2CL

PicoCube高精度XY向纳米定位系统，5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，LEMO连接器

P-363.3CD

PicoCube高精度XYZ向纳米定位系统，5微米 × 5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，Sub-D连接器

P-363.3CL

PicoCube高精度XYZ向纳米定位系统，5微米 × 5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，LEMO连接器