德国PI六轴压电平台系统P-562.6CD PIMars

P-562.6CD PIMars六轴压电平台系统

六自由度高精度纳米定位系统

杨文辉 QQ：2850590598   手机：18301216381 电话：010-64717020-118 传真：010-84786709-666 邮件：sales11@handelsen.cn

§ 6个运动轴：3个为线性，3个为旋转

§ 行程达200微米（线性）和1毫弧度（偏 摆角）

§ 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度

§ 电容式传感器带来最高线性度

§ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统

§ 优异的扫描平面度

§ 通孔尺寸66 毫米×66 毫米

§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命

§ 超高真空兼容至10-9百帕

应用领域

·         扫描显微镜

·         超分辨率显微镜

·         生物技术

·         掩模/晶圆定位

·         样本定位

·         干涉测量

·         计量

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

订购信息

P-562.6CD PIMars6轴纳米定位系统，200微米，1毫弧度，平行计量

可按需提供其他行程。

P-587 六轴精密压电平台

长行程，直接位置测量

§ 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 扫描

§ 线性行程为800 微米×800 微米×200 微米

§ 最大旋转角度达1微弧度

§ 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度

§ 电容式传感器带来最高线性度

§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命

§ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统

§ 六 自由度主动补偿

应用领域

·         干涉测量

·         计量

·         纳米压印

·         半导体测试

·         半导体制造

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

订购信息

P-587.6CD

带长行程的六轴纳米定位系统，800微米 × 800微米 × 200微米，±0.5毫弧度，平行计量，电容传感器