PI (Physik Instrumente)P-753 LISA线性促动器和平台

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P-753 LISA线性促动器和平台

位置动态稳定

同时为平台和促动器提供导向

分辨率 0.1 nm

直接驱动可实现极其快速的响应行为

行程达38 微米

可提供非磁性版本

电容式传感器带来最高线性度

描述

应用领域

·         扫描显微镜

·         测量技术

·         测试程序和质量保证

·         光子

·         光纤定位

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

PICMA直接驱动可实现更高刚性和动态

带直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移，带PICMA直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移。因此可实现快速响应速度，并在压电陶瓷驱动范围内实现最高的刚性和动态。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

订购信息

带Sub-D连接器（公头）的版本

P-753.1CD

LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，15微米，直接位置测量，电容传感器，D-sub连接器

P-753.2CD

LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，30微米，直接位置测量，电容传感器，D-sub连接器

P-753.3CD

LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，38微米，直接位置测量，电容传感器，D-sub连接器

带LEMO连接器的版本

P-753.11C

 LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，15微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

P-753.21C

LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，30微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

P-753.31C

LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，38微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

线性定位器，真空兼容达10-9百帕

P-753.1UD

LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，15微米，直接位置测量，电容传感器，D-sub连接器, 真空兼容至10-9百帕

P-753.2UD

LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，30微米，直接位置测量，电容传感器，D-sub连接器, 真空兼容至10-9百帕

P-753.3UD

LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，38微米，直接位置测量，电容传感器，D-sub连接器, 真空兼容至10-9百帕

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