PI (Physik Instrumente)P-612.Z 压电Z向位移台

P-612.Z 压电Z向位移台

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带孔径的紧凑型纳米定位器

§ 行程100微米

§ 分辨率达0.2纳米

§ 线性误差 0.2 %

§ 结构紧凑：表面60毫米×60毫米

§ 极其经济实惠的系统（机械部件和控制 器）

§ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统

§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命

应用领域

·         干涉测量

·         显微镜

·         纳米定位

·         生物技术

·         测试程序和质量保证

·         半导体技术

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

订购信息

P-612.Z0L

垂直纳米定位平台，110微米，孔径为20毫米×20毫米，开环

P-612.ZSL

垂直纳米定位平台，100微米，孔径为20毫米×20毫米，应变片传感器


 

我们的优势：

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