PI 压电陶瓷Z向/偏摆平台P-518 • P-528 • P-558

P-518 • P-528 • P-558 压电陶瓷Z向/偏摆平台

高动态，带大通光孔径

谭晶 QQ：2853369887   手机：18518172492 电话：010-64717020-116 传真：010-84786709-666 邮件：sales9@handelsen.cn

§ 三轴Z向和偏摆平台 / 单轴Z向位移台

§ 垂直偏摆角达200微米/2毫弧度，闭环 （开环达240 微米/2.4 毫弧度）

§ 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度

§ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统

§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命

§ 通光孔径为66 毫米 × 66 毫米

§ 电容式传感器带来最高线性度

应用领域

·         计量

·         干涉测量

·         光子学/集成光学

·         平版印刷术

·         纳米定位

·         扫描显微镜

·         样本对准

·         微加工

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。

订购信息

P-558.ZCD

精密纳米定位Z向位移台，50微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

P-558.ZCL

精密纳米定位Z向位移台，50微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

P-518.ZCD

精密纳米定位Z向位移台，100微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

P-518.ZCL

精密纳米定位Z向位移台，100微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

P-528.ZCD

精密纳米定位Z向位移台，200微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

P-528.ZCL

精密纳米定位Z向位移台，200微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

P-558.TCD

精密纳米定位器Z向位移台和偏摆台，50微米，0.6毫弧度，平行计量，电容传感器，Sub-D连接器

P-518.TCD

精密纳米定位器Z向位移台和偏摆台，100微米，1.4毫弧度，平行计量，电容传感器，Sub-D连接器

P-528.TCD

精密纳米定位器Z向位移台和偏摆台，200微米，2.4毫弧度，平行计量，电容传感器，Sub-D连接器

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