PI (Physik Instrumente)压电扫描仪P-363

PicoCubeXY(Z)压电扫描仪

用于扫描探针显微镜的高动态纳米定位系统

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P-363

§ 用于AFM / SPM的超高性能闭环扫描仪

§ 用于生物/纳米技术的紧凑型操纵工具

§ 谐振频率9.8千赫兹

§ 电容式传感器可实现最高精度

§ 并联测量技术可实现导向误差的自动化 补偿

§ 分辨率50皮米

§ 行程5微米×5微米×5微米

§ 真空兼容版本

应用领域

§ 扫描探针显微镜

§ 原子力显微镜

§ 扫描和筛选

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的SubD连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动 导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可 实现极低的排气率。

订购信息

P-363.2CD

PicoCube高精度XY向纳米定位系统，5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，Sub-D连接器

P-363.2CL

PicoCube高精度XY向纳米定位系统，5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，LEMO连接器

P-363.3CD

PicoCube高精度XYZ向纳米定位系统，5微米 × 5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，Sub-D连接器

P-363.3CL PicoCube高精度XYZ向纳米定位系统，5微米 × 5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，LEMO连接器

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