E-509 信号调节器/压电伺服模块PI (Physik Instrumente)

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E-509 信号调节器/压电伺服模块

用于多达3轴的伺服控制器模块，E-500压电控制器系统

§ 用于带应变片传感器和电容式传感器的 压电陶瓷定位系统的位置控制

§ 改善线性误差

§ 去除漂移和滞后

§ 陷波滤波器可实现更高带宽

§ 增加压电刚性

§ ILS电路优化电容式传感器的线性度

带传感器评估电控的位置控制模块

E-509是一个带传感器评估电控的位置控制模块，用于带集成位置传感器的纳米定位系统。它可自动消除电压控制压电操作过程中的漂移或滞后，当负载改变、压电电压立即被调整时，它可补偿压电陶瓷促动器的位置变化。

纳米级精度压电陶瓷定位

E-509伺服控制器模块的比例积分位置控制经过了优化，用于压电陶瓷操作。比例和积分项以及控制带宽可单独调整。集成式陷波滤波器（各轴均可设置）可提高稳定性，且可实现更接近压电陶瓷系统的机械谐振频率的更宽带宽操作。因此，根据压电陶瓷机械部件和传感器类型，纳米级的定位准确性和重复精度均可实现。

用于信号评估的E-509.E03和用作伺服控制器模块的E-509.E3均可用于PISeca系列的高分辨率电容式单板传感器。

订购信息

E-509.C1A

传感器/伺服控制器模块, 电容传感器, 1 axis

E-509.C2A

传感器/伺服控制器模块, 电容传感器, 2 axes

E-509.C3A

传感器/伺服控制器模块, 电容传感器, 3 axes

E-509.S1

传感器/伺服控制器模块, 应变片传感器, 1 axis

 E-509.S3

传感器/伺服控制器模块, 应变片传感器, 3 通道
 

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