用于显微镜的PIFOC®物镜和PInano®样品扫描仪 德国 PI

 

纳米定位压电挠性位移台

PI的压电挠性位移台将亚纳米分辨率和导向精度与最小的串扰相结合。这使得它们特别适合于计量学，超分辨率显微镜，干涉测量或半导体芯片生产检查系统中的应用。压电挠性位移台可用于毫秒级的精确定位和动态扫描，在高达6的自由度下可达到几百赫兹。

专有传感器设计，无摩擦挠性导轨和长寿命PICMA®压电执行器的独特结合，使机器具有出色且坚固的机械性能。压电运动控制器支持定位和扫描性能优化，并且可以轻松地通过数字或模拟接口进行集成，并进行舒适的编程。

 

1.多轴压电挠性位移台

PI的多轴压电挠性位移台可在多达6个轴上以亚纳米级的精度进行定位和扫描，包括尖端，倾斜和偏航运动。版本范围从最紧凑的立方体设计到大孔径和薄型。

XYZ扫描仪是定位技术的全方位工具。应用包括样品调整，技术，光学计量，光纤定位和光子学以及原子力显微镜。

所有压电纳米定位系统均已出厂校准，并随测量记录一起提供。 

 

P-616NanoCube®纳米定位器

紧凑的并联运动压电系统，用于纳米定位和光纤对准

应用领域：

光纤定位和对准

扫描显微镜

2-光子聚合

纳米技术与纳米制造

光子学/集成光学

显微操作

样品定位

 

电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了出色的运动线性，长期稳定性以及kHz范围内的带宽。

自动配置和快速的组件更换

机械和控制器可以根据需要进行组合，并可以快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。

适用于复杂的真空应用

压电系统中使用的所有组件都非常适合在真空中使用。无需润滑剂或油脂即可运行。不含聚合物的压电系统可实现极低的脱气率。

PICMA®压电执行器，使用寿命长

专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和由于泄漏电流增加而引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。已证明没有任何故障的1000亿次循环。

零游隙挠性导轨，导向精度高

挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们是100％真空兼容的，并且可在较宽的温度范围内工作。

通过并联运动学实现高动态多轴运行

在并联运动多轴系统中，所有执行器都作用在一个公共平台上。最小的质量惯性和所有轴的相同设计允许快速，动态且仍然精确的运动。

 

P-363 PicoCube XY（Z）压电扫描仪

用于扫描探针显微镜的动态纳米定位仪

应用领域：

扫描探针显微镜

原子力显微镜

扫描和筛选

 

零游隙挠性导轨，导向精度高

挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们是100％真空兼容的，并且可在较宽的温度范围内工作。

平行位置测量，在纳米范围内具有很高的跟踪精度

所有的自由度均以单个固定参考为基准进行测量。轴之间不需要的串扰可以实时（根据带宽）得到主动补偿（主动引导）。即使在动态操作中，也可以在纳米范围内实现高跟踪精度。

电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了出色的运动线性，长期稳定性以及kHz范围内的带宽。

自动配置和快速的组件更换

机械和控制器可以根据需要进行组合，并可以快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。

 

2.用于显微镜的PIFOC®物镜和PInano®样品扫描仪

PIFOC®和PInano®系列的压电挠性位移台和物镜扫描仪在定位和扫描任务方面具有很高的动态性。标准产品提供了适用于XY样品平行于和垂直于光轴定位以及物镜Z聚焦的解决方案。

平台也可以在系统中方便地与控制器，所有必需的连接电缆和软件一起使用。像所有压电系统一样，显微镜载物台和扫描仪也已通过测量记录进行了预校准。 

 

V-308物镜音圈PIFOC聚焦驱动器

用于显微镜物镜的高动态定位器

 

使用PIFOC对目标进行Z定位

在许多检查或显微镜技术中，都需要将样品沿Z方向（即沿物镜的光轴）定位。可替代地，可以在Z方向上移动物镜本身。为此，PI提供了名为PIFOC的解决方案。

PIMag®音圈电机

音圈马达是直接驱动器。在直接驱动中，驱动元件的力直接传递到要移动的负载上，而无需使用机械传​​递元件，例如联轴器，驱动螺杆或齿轮箱。音圈驱动器由位于磁场气隙中的永磁体和绕组体组成。当电流流经绕组时，它会在永磁体的磁场中移动。音圈驱动器由于其重量轻且无摩擦的驱动原理，特别适合要求在有限行程范围内实现高动力和高速度的应用。这些驱动器还可以实现高扫描频率和精确定位，因为它们不受磁滞的影响。

直接位置测量

直接在运动平台上以最高的精度执行位置测量，因此非线性，机械游隙或弹性变形对位置测量没有影响。

集成重力补偿

该产品配备了磁力称重补偿。即使没有通电，也可以保持垂直于运动轴的最大1 kg负载的位置。重力补偿可由用户调整。

交叉滚子导轨

对于交叉的滚柱导轨，滚珠导轨中滚珠的点接触被硬化滚柱的线接触所代替。因此，它们更坚固，需要的预紧力更小，从而减少了摩擦并实现了顺畅的运行。交叉滚子导向装置还具有较高的导向精度和承载能力。力引导的滚动体保持架可防止保持架蠕变。

应用领域

显微镜：多光子荧光显微镜，深层组织检查，数字玻片扫描显微镜。生物技术：采用Solexa-Illumina方法进行基因组测序，免疫分析荧光。

医疗设备：扫描激光眼科，自动细胞计数器/流式细胞仪。生物医学研究：光学和磁性镊子。激光材料加工：激光微加工，激光烧蚀。半导体行业：半导体/晶圆检查。

 

PD72Z2x•PD72Z4x PIFOC物镜扫描系统400 µm

高动态压电驱动器，可实现亚纳米分辨率

 

应用领域

显微镜检查

共聚焦显微镜

3D成像

筛选

自动对焦系统

表面分析

晶圆检查

多光子显微镜

直接位置测量带来最高的精度

直接在运动平台上测量运动，而不受驱动或导向元件的任何影响。这样可以实现最佳的可重复性，出色的稳定性以及快速响应的刚性控制。

电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了出色的运动线性，长期稳定性以及kHz范围内的带宽。

丰富的软件可快速启动生产运营

得益于对MATLAB和NI LabVIEW以及所有常见操作系统（Windows，Linux和macOS）的支持，集成几乎可以在每个环境中快速有效地实现。复杂的编程示例和软件工具（例如PIMikroMove）大大缩短了生产运营的时间。

 

ND72Z2LAQ PIFOC物镜扫描系统2000 µm

纳米分辨率和快速步进和稳定

 

应用领域

双光子显微镜

共聚焦显微镜

3D成像

激光技术

干涉仪

生物技术

显微操作

自动对焦，适合长途旅行

使用增量线性编码器进行高精度位置测量

非接触式光学编码器可以最高精度直接在平台上测量位置。非线性，机械间隙或弹性变形对测量没有影响。

PiezoWalk®行走驱动器可实现纳米级精度和高进给力

多个压电执行器在PiezoWalk®行走驱动器中执行行走运动，从而导致跑步者向前进给。致动器的控制允许最小的步进和正向进给运动，其分辨率远低于1纳米。

丰富的软件可快速启动生产运营

得益于对MATLAB和NI LabVIEW以及所有常见操作系统（Windows，Linux和macOS）的支持，集成几乎可以在每个环境中快速有效地实现。复杂的编程示例和软件工具（例如PIMikroMove）大大缩短了生产运营的时间。