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| 有效期至长期有效 | 最后更新2021-11-26 13:35 |
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德国 Physik Instrumente 压电扫描仪P-616NanoCube®纳米定位器
PI（Physik Instrumente）位移平台以其产品质量而闻名，多年来一直是全球精密定位技术市场的领导者之一。最重要的组成部分之一是国际PI家族内部的团队精神，其基础是超越国际边界和功能限制的相互理解和支持。
PI是一家拥有健康增长的私营公司，在全球拥有1000多名员工，并且是一个灵活的垂直整合的组织，这使PI（Physik Instrumente）位移平台能够满足创新型精密定位技术领域的几乎所有要求。
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PI的首要任务是成为客户的可靠且高质量的合作伙伴。PI是运动和定位领域解决方案的全球领先供应商。
应用领域
六脚架支持工业机器人科学仪器
半导体技术
显微镜检查
硅光子学
医疗技术
材料研究
机械工业
自动化
梁线仪器
添加剂制造
主动对准
部分产品分类及介绍
纳米定位压电挠性位移台
PI的压电挠性位移台将亚纳米分辨率和导向精度与最小的串扰相结合。这使得它们特别适合于计量学，超分辨率显微镜，干涉测量或半导体芯片生产检查系统中的应用。压电挠性位移台可用于毫秒级的精确定位和动态扫描，在高达6的自由度下可达到几百赫兹。
专有传感器设计，无摩擦挠性导轨和长寿命PICMA®压电执行器的独特结合，使机器具有出色且坚固的机械性能。压电运动控制器支持定位和扫描性能优化，并且可以轻松地通过数字或模拟接口进行集成，并进行舒适的编程。
1.多轴压电挠性位移台
PI的多轴压电挠性位移台可在多达6个轴上以亚纳米级的精度进行定位和扫描，包括尖端，倾斜和偏航运动。版本范围从最紧凑的立方体设计到大孔径和薄型。
XYZ扫描仪是定位技术的全方位工具。应用包括样品调整，技术，光学计量，光纤定位和光子学以及原子力显微镜。
所有压电纳米定位系统均已出厂校准，并随测量记录一起提供。
P-616NanoCube®纳米定位器
紧凑的并联运动压电系统，用于纳米定位和光纤对准
应用领域：
光纤定位和对准
扫描显微镜
2-光子聚合
纳米技术与纳米制造
光子学/集成光学
显微操作
样品定位
电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了出色的运动线性，长期稳定性以及kHz范围内的带宽。
自动配置和快速的组件更换
机械和控制器可以根据需要进行组合，并可以快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。
适用于复杂的真空应用
压电系统中使用的所有组件都非常适合在真空中使用。无需润滑剂或油脂即可运行。不含聚合物的压电系统可实现极低的脱气率。
PICMA®压电执行器，使用寿命长
专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和由于泄漏电流增加而引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。已证明没有任何故障的1000亿次循环。
零游隙挠性导轨，导向精度高
挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们是100％真空兼容的，并且可在较宽的温度范围内工作。
通过并联运动学实现高动态多轴运行
在并联运动多轴系统中，所有执行器都作用在一个公共平台上。最小的质量惯性和所有轴的相同设计允许快速，动态且仍然精确的运动。
P-363 PicoCube XY（Z）压电扫描仪
用于扫描探针显微镜的动态纳米定位仪
应用领域：
扫描探针显微镜
原子力显微镜
扫描和筛选
零游隙挠性导轨，导向精度高
挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们是100％真空兼容的，并且可在较宽的温度范围内工作。
平行位置测量，在纳米范围内具有很高的跟踪精度
所有的自由度均以单个固定参考为基准进行测量。轴之间不需要的串扰可以实时（根据带宽）得到主动补偿（主动引导）。即使在动态操作中，也可以在纳米范围内实现高跟踪精度。
电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了出色的运动线性，长期稳定性以及kHz范围内的带宽。
自动配置和快速的组件更换
机械和控制器可以根据需要进行组合，并可以快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。
2.用于显微镜的PIFOC®物镜和PInano®样品扫描仪
PIFOC®和PInano®系列的压电挠性位移台和物镜扫描仪在定位和扫描任务方面具有很高的动态性。标准产品提供了适用于XY样品平行于和垂直于光轴定位以及物镜Z聚焦的解决方案。
平台也可以在系统中方便地与控制器，所有必需的连接电缆和软件一起使用。像所有压电系统一样，显微镜载物台和扫描仪也已通过测量记录进行了预校准。
V-308物镜音圈PIFOC聚焦驱动器
用于显微镜物镜的高动态定位器
使用PIFOC对目标进行Z定位
在许多检查或显微镜技术中，都需要将样品沿Z方向（即沿物镜的光轴）定位。可替代地，可以在Z方向上移动物镜本身。为此，PI提供了名为PIFOC的解决方案。
PIMag®音圈电机
音圈马达是直接驱动器。在直接驱动中，驱动元件的力直接传递到要移动的负载上，而无需使用机械传递元件，例如联轴器，驱动螺杆或齿轮箱。音圈驱动器由位于磁场气隙中的永磁体和绕组体组成。当电流流经绕组时，它会在永磁体的磁场中移动。音圈驱动器由于其重量轻且无摩擦的驱动原理，特别适合要求在有限行程范围内实现高动力和高速度的应用。这些驱动器还可以实现高扫描频率和精确定位，因为它们不受磁滞的影响。
直接位置测量
直接在运动平台上以最高的精度执行位置测量，因此非线性，机械游隙或弹性变形对位置测量没有影响。
集成重力补偿
该产品配备了磁力称重补偿。即使没有通电，也可以保持垂直于运动轴的最大1 kg负载的位置。重力补偿可由用户调整。
交叉滚子导轨
对于交叉的滚柱导轨，滚珠导轨中滚珠的点接触被硬化滚柱的线接触所代替。因此，它们更坚固，需要的预紧力更小，从而减少了摩擦并实现了顺畅的运行。交叉滚子导向装置还具有较高的导向精度和承载能力。力引导的滚动体保持架可防止保持架蠕变。
应用领域
显微镜：多光子荧光显微镜，深层组织检查，数字玻片扫描显微镜。生物技术：采用Solexa-Illumina方法进行基因组测序，免疫分析荧光。
医疗设备：扫描激光眼科，自动细胞计数器/流式细胞仪。生物医学研究：光学和磁性镊子。激光材料加工：激光微加工，激光烧蚀。半导体行业：半导体/晶圆检查。
PD72Z2x•PD72Z4x PIFOC物镜扫描系统400 µm
高动态压电驱动器，可实现亚纳米分辨率
应用领域
显微镜检查
共聚焦显微镜
3D成像
筛选
自动对焦系统
表面分析
晶圆检查
多光子显微镜
直接位置测量带来最高的精度
直接在运动平台上测量运动，而不受驱动或导向元件的任何影响。这样可以实现最佳的可重复性，出色的稳定性以及快速响应的刚性控制。
电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了出色的运动线性，长期稳定性以及kHz范围内的带宽。
丰富的软件可快速启动生产运营
得益于对MATLAB和NI LabVIEW以及所有常见操作系统（Windows，Linux和macOS）的支持，集成几乎可以在每个环境中快速有效地实现。复杂的编程示例和软件工具（例如PIMikroMove）大大缩短了生产运营的时间。
ND72Z2LAQ PIFOC物镜扫描系统2000 µm
纳米分辨率和快速步进和稳定
应用领域
双光子显微镜
共聚焦显微镜
3D成像
激光技术
干涉仪
生物技术
显微操作
自动对焦，适合长途旅行
使用增量线性编码器进行高精度位置测量
非接触式光学编码器可以最高精度直接在平台上测量位置。非线性，机械间隙或弹性变形对测量没有影响。
PiezoWalk®行走驱动器可实现纳米级精度和高进给力
多个压电执行器在PiezoWalk®行走驱动器中执行行走运动，从而导致跑步者向前进给。致动器的控制允许最小的步进和正向进给运动，其分辨率远低于1纳米。
丰富的软件可快速启动生产运营
得益于对MATLAB和NI LabVIEW以及所有常见操作系统（Windows，Linux和macOS）的支持，集成几乎可以在每个环境中快速有效地实现。复杂的编程示例和软件工具（例如PIMikroMove）大大缩短了生产运营的时间。
德国 Physik Instrumente U-523PILine®线性平台
品牌简介
在过去的四十年中，PI（Physik Instrumente）已发展成为纳米定位技术的领先制造商。创业行为的关键要素和动机始终保持不变：为客户找到最佳解决方案。PI（Physik Instrumente）位移平台以其产品质量而闻名，多年来一直是全球精密定位技术市场的领导者之一。最重要的组成部分之一是国际PI家族内部的团队精神，其基础是超越国际边界和功能限制的相互理解和支持。
PI是一家拥有健康增长的私营公司，在全球拥有1000多名员工，并且是一个灵活的垂直整合的组织，这使PI（Physik Instrumente）位移平台能够满足创新型精密定位技术领域的几乎所有要求。
PI的首要任务是成为客户的可靠且高质量的合作伙伴。PI是运动和定位领域解决方案的全球领先供应商。
应用领域
六脚架支持工业机器人科学仪器
半导体技术
显微镜检查
硅光子学
医疗技术
材料研究
机械工业
自动化
梁线仪器
添加剂制造
主动对准
线性平台
PI提供了广泛的电动线性平台产品组合。种类繁多的应用还意味着线性轴的技术可能性也非常广泛。行程范围从几毫米到几米，精度等级从纳米到微米：PI使驱动器，导向器或传感器技术适应应用条件。
有许多不同型号的真空版本。多轴组合可借助转接器支架实现，或者通过匹配的Z平台和旋转平台更加紧凑。
运动控制器可作为台式设备，机架版本或紧凑型OEM设备使用。所有这些因素的共同因素是通过通用命令集（GCS）进行命令，该命令简化了控制和编程，并且与驱动器类型无关。
可提供具有ACS运动控制器的多轴工业应用中的多轴系统。这样可确保通过Fieldbus接口轻松集成，以实现精密和以运动为中心的工业应用。
1.U-523PILine®线性平台
带有超声波压电马达的紧凑型线性平台
精密级线性定位平台
PILine®位移台特别适合需要快速精确定位的应用。关闭时，自锁驱动器会以机械方式稳定工作台的位置。因此，能量消耗和热量产生显着减少。这些特性使电池供电或对热敏感的低占空比应用受益。轴的位置由编码器测量，光学参考开关可实现可靠的可重复运动。压电驱动原理及其电气操作成本低廉，可以定制。
使用增量线性编码器进行高精度位置测量
非接触式光学编码器可以最高精度直接在平台上测量位置。非线性，机械间隙或弹性变形对测量没有影响。
PILine®超声波压电马达
PILine®超声波压电电机的组成部分是压电致动器，该压电致动器通过一个耦合元件预加载在可移动的导向流道上。压电陶瓷执行器被100至200 kHz之间的高频AC电压激励而产生超声振荡。致动器的变形导致联接元件相对于转轮周期性的对角运动。每个周期产生的进料为几纳米。高频导致高速。将压电陶瓷执行器预紧抵在转轮上，可确保驱动器在静止和关闭时自动锁定。
应用领域
显微操作，自动化，生物技术，样品处理，样品定位，空间有限的应用，10 -6 hPa的真空应用（可选）。
2.精度最高的N-565线性平台
具有亚纳米编码器分辨率的NEXACT®压电步进驱动器
NEXACT®参考级线性平台
带有NEXACT®PiezoWalk®驱动器的线性平台可在长行程范围内在纳米范围内进行高精度定位。它们配备有直接测量的线性编码器和交叉滚子轴承，可实现最高的精度。
使用PIOne线性编码器进行直接位置测量
PI开发了高分辨率的PIOne编码器，并通过对测量值进行相应的处理，使位置分辨率大大小于1纳米。另外，由于信号周期短和信号质量高，PIOne编码器的线性误差小于1％。PIOne编码器在评估参考信号时支持方向感测。
PiezoWalk®技术：高分辨率和低磨损
PiezoWalk®技术结合了压电执行器和压电马达的技术优势。PiezoWalk®行走驱动器不仅提供亚纳米级分辨率，高作用力和高刚度，而且理论上允许无限的行驶范围。与其他压电驱动原理相反，PiezoWalk®行走驱动器不受滑动摩擦的影响。它们基于沿着滑道步进的多个压电执行器的静摩擦接触。静止时，PiezoWalk®行走驱动器是自锁的，不消耗能量，并且不发热。
应用领域
样品处理，样品定位，具有高精度和稳定性的光学或机械组件，半导体行业的精密机械，显微操作，显微镜，自动化，在狭窄空间中的应用，在非磁性环境中的应用。
3.L-812高负载线性平台
步进或伺服电机•驱动螺杆•性价比高
强大的线性平台，用于要求苛刻的工业应用
精密滚珠丝杠，高性能步进或同步伺服电机，重型循环滚珠轴承以及精密旋转编码器可在高负载下连续可靠地运行。可选的抱闸允许用作Z轴。滚珠丝杠可以在不拆卸的情况下从外部进行补充润滑，以确保高可靠性和长寿命。
开拓设计
L-812系列的循环球轴承导轨设计用于高负载能力和动态性能。电机的高分辨率可改善跟踪性能，减小跟踪误差并缩短建立时间。
选项
步进或同步伺服电机
抱闸
旋转编码器，增量式或绝对式
折叠式传动系统可减少总长度
同步伺服电机
这些电动机在较大的转速范围内具有较高的定位精度和较高的过载能力。高扭矩和低惯量确保了驱动器的高动态。这些电机的使用寿命长，性能高且坚固耐用，可在工业自动化应用中获得出色的效果。
步进电机
强大且低振动的2相步进电机即使在没有位置控制的情况下也可以实现精确定位。
应用领域
电子产品生产：微装配。传感器/摄像头的位置。
激光材料加工：激光微加工。
工业喷墨印刷。矩阵板和印刷电路板的生产。
测试与检查。
医疗设备制造：气密焊接。基因实验室的机器人系统。
空气轴承和位移台
空气轴承台用于需要无振动运动，速度需要高度恒定且要求最佳角度重复性的场合。
空气轴承避免了摩擦，磨损和反冲效应。PIglide线性，旋转和球面轴承是精密组件，可以集成和电动化用于OEM，工业和研究市场。
1.A-142 PIglide音圈线性平台，带空气轴承
高性能•兼容无尘室•垂直安装选件
产品总览
高性能紧凑型音圈线性平台，带有空气轴承导轨。免维护，无限寿命，非常适合具有高占空比和严格体积限制的高动态应用。
集成的平衡选项可实现垂直方向的操作。
配件和选件
PIglide过滤器和空气制备套件
垂直安装的气动平衡
应用领域
线性位移台非常适合高精度应用，例如计量学，光子学对准系统，光学器件定位和扫描。非接触式设计是洁净室应用的理想选择。电缆未移动。
2.A-110 PIglide LC线性平台，带空气轴承
廉价的高性能纳米定位台
产品总览
PIglide定位系统具有磁性直线电机，磁性预加载的空气轴承和光学线性编码器：非接触和无摩擦运动，可提供最高的准确性和可靠性
应用领域
PIglide定位系统非常适合许多高精度应用，例如半导体或平板显示器制造中的计量，光子学和精密扫描。
由于无摩擦运动，不会形成任何颗粒，这使PIglide平台成为洁净室应用的理想选择。
配件和选件
编码器
PIglide过滤器和空气制备套件
单轴和多轴运动控制器
XY设置和个别配置
用花岗岩制成的底板和减少振动的系统
3.A-141 PIglide MB微型线性平台，带空气轴承
高性能，无尘室兼容，可定制
产品总览
带有空气轴承的PIglide MB线性位移台配有伺服线性电机驱动器，该驱动器带有预装的空气轴承和集成的光学线性编码器。此阶段可提供微型格式的超高精度。非接触组件的组合形成了一个无摩擦运动平台，该平台可提供最高的性能，质量和使用寿命。
应用领域
该载物台非常适合许多高精度应用，例如计量，光子对准，光学定位和扫描。非接触式设计也是洁净室应用的理想选择。电缆未移动。空气轴承模块提供锁定设计，以实现最高的位置稳定性。
配件和选件
PIglide过滤器和空气制备套件
单轴和多轴运动控制器
用花岗岩制成的底板和减少振动的系统
旋转台
对旋转运动的要求显示出范围很广的各种尺寸，负载能力和定位精度。PI提供具有各种电动和导向选项的平台：空气轴承，扭矩马达驱动，蜗轮蜗杆耦合电动，小型压电马达平台以及带有正交倾斜安装选项的专用测角仪平台。它们都可以通过相应的线性，垂直和XY平台安装到多轴组合上。
1.A-68x PIglide RLA旋转平台，带空气轴承，大孔径
无摩擦，电动
产品总览
PIglide RLA系列的直接驱动平面旋转平台设计为具有最高的精度。它们外形小巧，通光孔径大。RLA位移台具有出色的行程精度，平坦度和摆动性能。
绝对值编码器（可选）
绝对值编码器提供明确的位置信息，从而可以立即确定位置。这意味着在接通过程中不需要引用，从而提高了操作过程中的效率和安全性。
应用领域
断层扫描，束线系统，晶圆计量，晶圆检查，测量技术，检查系统，校准，扫描。
由于无摩擦运动，不会形成任何颗粒，这使PIglide平台成为洁净室应用的理想选择。
三相转矩电机
无刷
低齿槽转矩
配件和选件
增量或绝对编码器
PIglide过滤器和空气制备套件
单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器
多轴/自定义设置
用花岗岩制成的底板和减少振动的系统
2.A-63x PIglide RL带有空气轴承的平面旋转平台
无摩擦，电动
产品总览
PIglide RL系列的直接驱动式薄型旋转位移台采用薄型设计，可实现最高的精度。可以组合使用各种选项，以创建理想的解决方案，以实现点对点索引或恒速扫描。RL位移台提供卓越的行程精度，平坦度和摆动性能。
绝对值编码器（可选）
绝对值编码器提供明确的位置信息，从而可以立即确定位置。这意味着在接通过程中不需要引用，从而提高了操作过程中的效率和安全性。
应用领域
光学对准，晶圆检查，晶圆对准，测量技术，检查系统，校准，扫描。
由于无摩擦运动，不会形成任何颗粒，这使PIglide平台成为洁净室应用的理想选择。
三相转矩电机
