Bronkhorst质量流量计F-132MI

最小流量范围：0.3-15 ln/min；

最大流量范围：5-250 ln/min；

压力：400bar；

 

半导体和LED照明产业：

最初，热式质量流量计和控制器是在1970年代为半导体制造过程中的气相沉积而开发的。由于市场需求以及在气体、液体和蒸汽输送方面引进新的更好产品的需要，Bronkhorst称为半导体、平板显示器和LED行业的主要供应商。针对化学气相沉积（CVD）、平板显示器喷涂（FPD）和原子层沉积（ALD）工艺，Bronkhorst可为直接液体注入系统提供金属密封流量仪表。

 

Bronkhorst部分型号示例：

Bronkhorst F-231M-ABD-33-V

Bronkhorst F-201EV-ABD-22-V HI-TEC

Bronkhorst F-206AI-AAD-55-V

Bronkhorst F-203AV-1M0-AAD-55-V

Bronkhorst F-201CV-20K-BAD-00-V HI-TEC

Bronkhorst F-201CB-20K-AAD-00-Z

Bronkhorst F-203AV-M50-AGD-55-V

Bronkhorst F-203AI-1M0-AGD-44-V

Bronkhorst F-110C-002-AAD-11-V

Bronkhorst F-203AI-M50-AGD-44-V

Bronkhorst F-201CV-1K0-RGD-88-E

Bronkhorst F-203AI-1M0-AGD-55-V

应用案例：

切割（激光）前在晶片上沉积保护层

金属有机化学气相沉积(MOCVD)

原子层沉积(ALD)

超临界流体定量给料和控制（如超临界二氧化碳清洗）

平板显示器(FPD)喷涂

 

在FOUP卸载模块应用质量流量控制器进行氮气吹扫：

目前先进的技术要求在生产过程中对气体进行更好的流量控制，以提高产量并降低这些气体的使用成本。

超临界气体测量与控制：

当流体例如二氧化碳(CO2)在气液两相临界区域处，难以测量它们的流量。建议使用科里奥利质量流量计。