Mlase MLI-200 KrF准分子激光能量监测器

MLase 的现代紧凑型 MLI 系列准分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，脉冲能量高达 16 mJ，重复频率高达 1，000 Hz

市场上具有最高刀具寿命和可靠性以及低拥有成本的独立设备。由于光束轮廓均匀，能量稳定，适用于要求苛刻的应用。

后缀为LC的准分子激光器还可以选择主动水冷（通过家用水或外部热交换器;无去离子水），以实现稳定的连续运行。

Mlase MLI-200 KrF激光参数

波长（nm）248

最大重复频率（Hz）200

稳定脉冲能量（mJ）10

稳定脉冲功率（W）2,0

能量稳定性（西格玛，%）2 

光束尺寸（FWHM，V x H mm）6x3

光束发散度（FWHM，V x H mrad）2x1 

脉冲持续时间（FWHM）（ns）5-15

重量kg 75

冷却 空气

电源 230V, 50/60Hz, 2000W 最大

尺寸 (L x W x H) mm 560 x 315 x 445

Mlase MLI-200 KrF准分子激光主要功能

刚性设计

电晕预电离

固态电路

卡套管技术

能量监测器

紧凑型准分子激光，单相

Mlase MLI-200 KrF准分子激光优势

高可靠性

均匀梁剖面

即时可用，无老化

全金属密封管

数十亿脉冲的延长寿命

能量稳定

易于操作，易于集成

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